MFC流量控制器，即MassFlowMeter（縮寫(xiě)為MFM）,是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準，不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController（縮寫(xiě)為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì )使其偏離設定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。
MFC流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
(1)流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。
對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。
(2)測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA,數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3)精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4)適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達0～5sccm，最大流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿(mǎn)量程的0.1%,流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100%(量程比為--50:1),因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應用。
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