激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會(huì )引起激光發(fā)射的不穩定。
激光混合氣的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著(zhù)特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱(chēng)為第三代激光。
激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質(zhì)對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。
激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時(shí)一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。切割碳鋼時(shí)一般使用氧氣起到冷卻切邊和加速燃燒碳鋼已提高切割速度。當然，當鋼瓶厚度薄，對切割質(zhì)量要求不高時(shí)可以用干燥空氣替代高純氮氣等輔助氣體。切割輔助氣體一般質(zhì)量要求不高，關(guān)鍵是價(jià)格便宜，壓力適合。
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