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簡(jiǎn)要描述：HORIBA STEC專(zhuān)注于質(zhì)量流量控制器的研究開(kāi)發(fā)，服務(wù)于近乎藝術(shù)級的半導體制程，并持續不斷地制造各類(lèi)產(chǎn)品，滿(mǎn)足用戶(hù)的各種需求。
產(chǎn)品型號：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2021-03-15
訪(fǎng) 問(wèn) 量：2083
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
HORIBA質(zhì)量流量控制器 HORIBA STEC專(zhuān)注于質(zhì)量流量控制器的研究開(kāi)發(fā)，服務(wù)于近乎藝術(shù)級的半導體制程，并持續不斷地制造各類(lèi)產(chǎn)品，滿(mǎn)足用戶(hù)的各種需求。
多種配置選擇，通信模式可選擇數字/模擬，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS.
兩種氣體管路接口到接口之間的尺寸規格供選擇：124 mm-和106mm- （W系列）
氣體流量控制范圍擴大到從10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列適用于各種需要氣體控制方面的應用。
特點(diǎn)：
高精度 高設定信號點(diǎn)精度
MFC的線(xiàn)性由多條近似曲線(xiàn)進(jìn)行補償。這樣能確保在所有流量控制范圍內的高精度。為了改進(jìn)針對實(shí)際氣體的精度，HORIBA STEC使用標準氣體測量系統測試各種制程中使用的氣體并取得測試數據。
精度：±1.0% S.P. : 30-100% F.S. ±0.3% F.S. : W30%F.S.
全流量范圍的高速相應
新的可變PID算法：1秒高速響應
。SEC-N100具有新研發(fā)的“可變PID系統"，能在1秒內對任何信號設定點(diǎn)進(jìn)行響應?？勺?PID根據設定流量點(diǎn)位不斷修正計算，這樣當用戶(hù)改變滿(mǎn)量程和氣體種類(lèi)時(shí)PID參數能得到優(yōu)化。
多氣體，多量程的解決方案
附加的軟件可以讓用戶(hù)很容易地改變使用規格
新的多氣體，多量程系統使在用戶(hù)端自由改變氣體種類(lèi)和使用量程范圍成為可能。
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