MFC流量控制器由傳感器,接入器,主機,監控設備,人機界面和節流閥(或者節流閥組)組成。傳感器收集流量等信息,通過(guò)接入器接入到主機,這個(gè)主機由可能是單片機,也可能是PC機,甚至可能是更高級的計算機。
MFC流量控制器是一個(gè)多孔板組合的聯(lián)動(dòng)裝置,是目前國產(chǎn)較為可靠的解決動(dòng)態(tài)水力平衡的元件。它由一個(gè)流量設定調節閥,即手動(dòng)的可調孔板(相當于一個(gè)靜態(tài)平衡元件)和二個(gè)閥瓣及彈簧、膜片組成的動(dòng)態(tài)調節裝置。即自動(dòng)的可調孔板(相當于一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡元件)組成。
MFC流量控制器帶有結實(shí)本體,兩個(gè)連接法蘭,帶磁鐵和帶刻度的不同流程范圍的調節插板,密封條,帶電磁觸點(diǎn)的指針,電路系統連接器。液體或氣體從固定在直立方向的設備底部向上流動(dòng),從而推動(dòng)可變顯示部分的調節插板的位置,并且可以通過(guò)觀(guān)察管道上有可視刻度線(xiàn)的部分,紅色刻度表示流速在某一個(gè)值上。通過(guò)這種方式可以讀取循環(huán)中的瞬時(shí)流量。
浸入流體內部的指示調節閥門(mén),在沒(méi)有機械摩擦力的情況下可以自由移動(dòng),在內部所襯磁鐵產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用下,電子報警觸點(diǎn)就會(huì )接觸。依靠開(kāi)關(guān)上有基準指示的可移動(dòng)指針,觸點(diǎn)的斷開(kāi)與接觸由所檢測液體的流速來(lái)決定,并顯示在內部標簽上。
MFC流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復性好。