超純氣體是指純度高達99.999%以上的氣體，其中的雜質(zhì)成份遠遠低于國際標準規定的最高限制。常見(jiàn)的有氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等。由于氣體具有高的純度，因此可以廣泛應用于半導體、光電子、航空航天和化學(xué)制品等領(lǐng)域。應用范圍非常廣泛，特別是在微電子制造領(lǐng)域。以半導體材料的生產(chǎn)為例，控制可以保證制程的優(yōu)異性，避免雜質(zhì)的影響。例如，在工廠(chǎng)中，空氣中的微粒和雜質(zhì)會(huì )對生產(chǎn)產(chǎn)生不利影響，因為它們可能在接觸表面時(shí)未能正常分離，導致缺陷和故障。相對應的，在制造過(guò)程中的控制，對產(chǎn)品的質(zhì)量、性能和制程穩定性具有高的價(jià)值。
超純氣體的作用：
1.半導體制造：要制備出高質(zhì)量的晶體器件，必須使用它。在半導體晶片的制造過(guò)程中，如果有雜質(zhì)的存在，會(huì )嚴重影響晶片的質(zhì)量和性能。
2.醫藥工業(yè)：在醫藥工業(yè)中的應用也很廣泛。比如制備藥物時(shí)需要使用到超純氣氣體來(lái)保證產(chǎn)品的純度。
3.食品工業(yè)：在食品工業(yè)中，被應用于食品包裝和儲存。通過(guò)抽取含氧量低的氣體來(lái)防止食品氧化。
超純氣體的制備方法：
1.物理吸附法：該方法利用活性炭、硅膠等固體吸附材料將氣體中的雜質(zhì)物質(zhì)吸附去除，水相中的可以通過(guò)這種方法進(jìn)行提純。
2.蒸汽解析法：該方法是在高溫下將氣體中的雜質(zhì)物質(zhì)分解并去除，這會(huì )導致氣體的成分逐漸變化，最終得到純凈的氣體。
3.化學(xué)吸收法：利用化學(xué)吸收劑對氣體中的目標雜質(zhì)進(jìn)行選擇性吸收，真空下吸附裝置吸附空氣中的水和氮氧化物等雜質(zhì)。
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