一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質(zhì)的激光氣，統稱(chēng)為激光混合氣。這是目前種類(lèi)最多、發(fā)展最快應用廣的一類(lèi)激光器。通?？梢园褮怏w激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多，通常采用氣體放電激勵，此外還可采用電子束激勵、氣動(dòng)式激勵、化學(xué)激勵、光激勵和核動(dòng)激勵等。氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導體激光器一樣，已經(jīng)實(shí)現了實(shí)用化。它已廣泛用于工農業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、國防建設和醫療衛生等領(lǐng)域。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會(huì )引起激光發(fā)射的不穩定。因此，對組分的純度有著(zhù)特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱(chēng)為第三代激光。
激光混合氣的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì )引起激光發(fā)射的不穩定。因此，對其組分的純度有著(zhù)特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光氣是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱(chēng)為第三代激光。
激光混合氣的組成與精度的影響?；旌蠚庵薪M分濃度的變化對于振蕩效率和激光器使用壽命影響極大。采用99.999%、二氧化碳和99.999%氫氣、氮氣和氦氣等高純氣體，按激光發(fā)生器的的比例要求配制而成的預混合氣體。具有重復性好、均勻性好、一致性好等特點(diǎn)。其組成與精度的影響。對于二氧化碳激光器，若混合氣氮組分氣濃度發(fā)生變化，受電子沖撞則引起氨分子激勵狀態(tài)發(fā)生變化，結果會(huì )造成二氧化碳氣體分子的激勵效率等發(fā)生變化。
掃碼關(guān)注
歡迎來(lái)到