電子氣體是什么？
氣體工業(yè)名詞，半導體工業(yè)用的氣體統稱(chēng)電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類(lèi)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級和使用場(chǎng)合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。
電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過(guò)程中*的基礎性支撐源材料，它被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率，并從根本上制約著(zhù)電路和器件的精確性和準確性.
電子氣體在儲存和運輸過(guò)程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、以及相應的氣體輸送管線(xiàn)、閥門(mén)和接口，確保避免二次污染。
目前主要的電子氣體產(chǎn)品分類(lèi)：
目前主要有：硅烷、氨氣、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環(huán)丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氫、一氧化碳、氖氣、氪氣等。
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