MFC流量控制器，即MassFlowMeter(MFM)，是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準，不需要溫度壓力補償。
MFC流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì )使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，質(zhì)量流量計只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器，則帶有控制閥門(mén)，既可以測量也可以控制氣體流量大小。
MFC流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn)：
（1）直接測量氣體的質(zhì)量流量
熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，無(wú)需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無(wú)需進(jìn)行換算。
（2）無(wú)可移動(dòng)部分
本身無(wú)類(lèi)似轉軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無(wú)需機械維護。
（3）可以準確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
（4）測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計／質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示，流量自動(dòng)計量，數據自動(dòng)記錄，計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
（5）準確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。
（6）準確度高，重復性好
準確度可達+-1%F.S（fullscale）重復性為＋-0.25%F.S（fullscale）
（7）體積小巧，安裝方便，操作簡(jiǎn)單
（8）技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流
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